半导体制造中常见的气化方式
今天我们就以三种常见的#热问计划#气化方式为例进行讲解:气泡法(Bubbler),液体注射法(Liquid Injection),固态升华法(Sublimation)。其中前两种方法用于液态前驱体,最后一种方法用在粉末前驱体中。
今天我们就以三种常见的#热问计划#气化方式为例进行讲解:气泡法(Bubbler),液体注射法(Liquid Injection),固态升华法(Sublimation)。其中前两种方法用于液态前驱体,最后一种方法用在粉末前驱体中。
近日,内蒙古自治区党委、自治区人民政府发布《关于2024年度自治区科学技术奖励的决定》,鄂尔多斯市16个项目获奖,获奖数量和质量再创新高。其中科技进步奖一等奖5项,实现历史性突破(上届科技进步奖一等奖1项);科技进步奖二等奖10项;技术发明奖二等奖1项,实现了